- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：移動式氦氣檢漏儀
- 產(chǎn)品型號：UL1000FAB
- 產(chǎn)品展商：INFICON
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
INFICON英?？礥L1000FAB移動式氦氣檢漏儀UL1000FAB 移動式氦氣檢漏儀
產(chǎn)品描述
UL1000 Fab
ULTRATEST? 傳感器技術(shù)
工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的“干式”標(biāo)準(zhǔn)
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測的公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)。
通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了*佳的性價比。它提供*先進(jìn)的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計提供了高度的機(jī)動性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確?？梢越?jīng)濟(jì)實(shí)惠地檢測出所有泄漏。
穩(wěn)定性和敏感度的新疆界，檢漏低達(dá)10-12毫巴·升/秒
英?？礥L1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。
憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強(qiáng)的*佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供漏率低達(dá)< 5×10-12毫巴·升/秒。磚利軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因?yàn)閁L1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業(yè)。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點(diǎn)。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡單、快速、**的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883，方法1014）。
特征概覽
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時間
移動式全金屬外殼為優(yōu)良可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應(yīng)時間
抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
自保護(hù)功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環(huán)可確保隨時可用性
通過電子郵件進(jìn)行軟件升級
含兩個燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了**的測試結(jié)果
內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執(zhí)行密封部件的自動測試
可選RC1000遙控器
應(yīng)用
半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
工藝氣體系統(tǒng)的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
規(guī)格
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類型
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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氦氣（真空模式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5 ? 10-12
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氦氣（吸**式）*低可檢漏率
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mbar?L/s
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< 5·10-8
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GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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15
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FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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2
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ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力
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mbar
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0.4
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抽真空期間的抽氣能力
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m3/h
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25 at 50 Hz
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GROSS 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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max. 8
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FINE 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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7
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ULTRA 模式氦氣抽氣能力
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L/s
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2.5
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可檢測質(zhì)量數(shù)
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2,3,4 amu
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質(zhì)譜儀扇形場
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180°
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燈絲離子源銥/氧化釔涂層
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2
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內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔
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mbar?L/s
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～ 10-7
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測試端口
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DN 25 KF
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1
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可調(diào)觸發(fā)器
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2
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接口
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RS 232
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圖形記錄器輸出
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V
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2 x10
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輸入/輸出
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PLC compatible
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允許的環(huán)境溫度（操作過程中）
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°C
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+10 to +40
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重量
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110
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尺寸（長x寬x高）
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1050 x 472 x 987
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電源電壓 (EU)
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V (ac)
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230 (± 10 %) 50 Hz
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電源電壓 (US)
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V (ac)
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100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
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功耗 (typ.)
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VA
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1100
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|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
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附件
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Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
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零件號
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明細(xì)
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14005
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SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長
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14022
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RC1000 extension cable, 8 m
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14090
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LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
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551-000
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Toolbox, detachable,for UL1000
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551-001
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Helium Bottle Holder for UL1000/5000
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551-002
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ESD Mat for UL1000/5000
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551-005
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TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
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551-010
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遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
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551-015
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遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發(fā)射機(jī)
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551-020
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RC1000WL 用無線發(fā)射機(jī)
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