- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：移動式氦氣檢漏儀
- 產(chǎn)品型號：UL1000FAB
- 產(chǎn)品展商：INFICON
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
簡單介紹
INFICON英福康UL1000FAB移動式氦氣檢漏儀UL1000FAB 移動式氦氣檢漏儀
產(chǎn)品描述
UL1000 Fab
ULTRATEST? 傳感器技術(shù)
工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的“干式”標(biāo)準(zhǔn)
INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測的公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)。
通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了*佳的性價比。它提供*先進(jìn)的 10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時間和響應(yīng)時間的特點。緊湊的設(shè)計提供了高度的機(jī)動性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測試。
所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時間，同時確?？梢越?jīng)濟(jì)實惠地檢測出所有泄漏。
穩(wěn)定性和敏感度的新疆界，檢漏低達(dá)10-12毫巴·升/秒
英?？礥L1000FAB移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。
憑借工廠環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供在所有測量范圍中提供極快的漏率響應(yīng)。通過結(jié)合高速氦氣抽吸和高進(jìn)氣口壓強的*佳真空結(jié)構(gòu)，UL1000FAB氦氣檢漏儀提供漏率低達(dá)< 5×10-12毫巴·升/秒。磚利軟件I-CAL（智能漏率計算法）讓您忘記在低漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因為UL1000能夠?qū)λ新┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。
可選配的遙控器RC1000WL允許距離為100米時超過8小時的無線作業(yè)。該單元配置一個3.5″的豐彩觸摸顯示屏并具備直觀的操作特點。連接2個或多個檢漏儀的RC1000C有線型和無線遙控手柄用于完成產(chǎn)品組合。
使用額外的TC1000測試盒附件，UL1000FAB氦氣檢漏儀為密封產(chǎn)品提供簡單、快速、**的測試，如IC包裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù)MilStd883，方法1014）。
特征概覽
15級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時間
移動式全金屬外殼為優(yōu)良可操作性提供了額外便利性
I-CAL確保了所有測量范圍中泄漏的*快響應(yīng)時間
抑零功能和自動積分時間校正提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計提供高速氦氣抽速和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許該單元的簡單、輕松控制和交互作用
自保護(hù)功能可防止UL1000Fab氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環(huán)可確保隨時可用性
通過電子郵件進(jìn)行軟件升級
含兩個燈絲離子源（3年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運行時間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔確保了**的測試結(jié)果
內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用TC1000測試盒執(zhí)行密封部件的自動測試
可選RC1000遙控器
應(yīng)用
半導(dǎo)體加工工具上的維護(hù)工作
工藝氣體系統(tǒng)的檢測和安裝
部件檢漏
需高泵抽速、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
規(guī)格
|
類型
|
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
|
|
氦氣（真空模式）*低可檢漏率
|
mbar?L/s
|
< 5 ? 10-12
|
|
氦氣（吸**式）*低可檢漏率
|
mbar?L/s
|
< 5·10-8
|
|
GROSS 模式*大進(jìn)氣口壓力
|
mbar
|
15
|
|
FINE 模式*大進(jìn)氣口壓力
|
mbar
|
2
|
|
ULTRA 模式*大進(jìn)氣口壓力
|
mbar
|
0.4
|
|
抽真空期間的抽氣能力
|
m3/h
|
25 at 50 Hz
|
|
GROSS 模式氦氣抽氣能力
|
L/s
|
max. 8
|
|
FINE 模式氦氣抽氣能力
|
L/s
|
7
|
|
ULTRA 模式氦氣抽氣能力
|
L/s
|
2.5
|
|
可檢測質(zhì)量數(shù)
|
|
2,3,4 amu
|
|
質(zhì)譜儀扇形場
|
|
180°
|
|
燈絲離子源銥/氧化釔涂層
|
|
2
|
|
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔
|
mbar?L/s
|
～ 10-7
|
|
測試端口
|
DN 25 KF
|
1
|
|
可調(diào)觸發(fā)器
|
|
2
|
|
接口
|
|
RS 232
|
|
圖形記錄器輸出
|
V
|
2 x10
|
|
輸入/輸出
|
|
PLC compatible
|
|
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）
|
°C
|
+10 to +40
|
|
重量
|
|
110
|
|
尺寸（長x寬x高）
|
|
1050 x 472 x 987
|
|
電源電壓 (EU)
|
V (ac)
|
230 (± 10 %) 50 Hz
|
|
電源電壓 (US)
|
V (ac)
|
100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
|
|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
|
|
功耗 (typ.)
|
VA
|
1100
|
附件
|
Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
|
|
零件號
|
明細(xì)
|
|
14005
|
SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長
|
|
14022
|
RC1000 extension cable, 8 m
|
|
14090
|
LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
|
|
551-000
|
Toolbox, detachable,for UL1000
|
|
551-001
|
Helium Bottle Holder for UL1000/5000
|
|
551-002
|
ESD Mat for UL1000/5000
|
|
551-005
|
TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
|
|
551-010
|
遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
|
|
551-015
|
遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發(fā)射機(jī)
|
|
551-020
|
RC1000WL 用無線發(fā)射機(jī)
|
